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AIS主動防振系列
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產品說明
隨著奈米時代的來臨,許多科技產業對精密度的要求已經從微米(micrometer),次微米(sub-micrometer)到奈米(nanometer)等級。環境的影響也越來越明顯。除了溫度影響外,振動會是首先必須面對的問題。 德國BILZ公司以40年的防振實務經驗,研發出氣電控制主動防振系統AIS(Active Isolation System)。

■ AIS 主動防振系統產品的特點

  • 可同時控制6個自由度方向振動。
  • 理想的防振效益,無共振問題。
  • 無論垂直向及水平向,均可得到極佳的水平控制精度。
  • 極小的動態位移量且動態穩定時間很短。
  • 高效益的即時控制。
  • 每個自由度均有獨立之快速控制元件,可精確控制定位、氣壓及加速度。
  • 操作容易,對話式WinSNI軟體直接設定調整AIS系統。
  • 兩種不同的控制模式,scanning mode及loading mode,可分別針對各種不同特性需求調整。
  • 不需機器控制動作。
  • 不受機器設備驅動之熱源及磁場影響。

■ AIS主動防振系統的使用時機:

  1. 防振要求等級非常高,如VC-E。
  2. 設備水平定位精度要求高並要快速穩定。
  3. 避免共振影響。
產品規格
AIS的推出已實際有效協助各科技產業解決所面臨的振動問題,如半導體、精密雷射切割、面板檢驗、電子顯微鏡、精密光電等產業。
產品規格:需由顧客提供資料與環境測試再評估。
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